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真空泵的作用是保證系統處于真空狀態。真空泵分為干式真空泵、濕式真空泵和水環泵。干式真空泵與冷凝器配套，抽取系統中的不凝性氣體，濕式真空泵用于排除系統中的冷凝水和不凝性氣體，水環泵也同樣兼具抽取不凝性氣體和冷凝水的作用。

真空泵的使用，由于水力噴射器的廣泛使用而有很大的減少。但是由于真空泵與冷凝器配套，冷卻水用量遠較使用水力噴射器為少，因此，特別適用于缺水區域系統真空的產生。