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> 微型干式真空泵應用范圍
微型干式真空泵應用范圍
發布時間：2013-1-14 標簽：
真空泵
微型干式
真空泵
的
應用
是廣泛的，主要有以下幾個方面：
1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微�；烊氡糜椭�，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械
真空泵
可以滿足要求；
4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
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X型旋片式真空泵
2XZ型旋片式真空泵
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